MEMS 发展历程

上个世纪80 年代开始，随着微电子行业的快速发展，以及航空、航天、汽车等行业对小尺寸高可靠传感的实际需求，MEMS 微机电系统和传感器相结合形成的MEMS 传感器行业进入了快速发展期。通常认为，MEMS 传感器行业在2000 年以前的最主要驱动力是汽车工业。汽车领域MEMS 传感器主要有压力传感器、加速计、陀螺仪和流量传感器，应用范围包括汽车防抱死系统ABS、车身稳定程序ESP、电控悬挂ECS、电动手刹EPB、斜坡启动辅助HAS、胎压监控EPMS、引擎防抖等。
进入21 世纪后，以手机为代表的消费电子行业飞速发展，直接带动了MEMS 传感器行业的发展。手机内置加速计、陀螺仪、MEMS 硅麦克风、近距离传感器、环境光传感器、温湿度传感器等，主要应用范围包括运动/坠落检测、速度/距离计数、电源管理、GPS 增强/盲区消除、导航数据补偿等。每台智能手机的MEMS 传感器已超过10 个。

未来，随着物联网技术和行业应用的发展，联网节点会呈现爆炸式增长的局面。MEMS 传感器，作为物联网四层架构（感知层、传输层、平台层和应用层）中感知层的核心器件之一，需求会进一步增大，应用场景涵盖工业物联网、车联网、智慧医疗、智能家居等。